一、主动轴外伸部分的动密封
目前采用较多的是标准型号的机械密封和带加强环的骨架真空橡胶密封。机械密封功耗小，允许线速度大；但结构复杂，成本较高。骨架密封结构简单，功耗较大，为减少轴与密封圈之间的摩擦，轴的表面硬度和光洁度要高。为了防止轴的磨损，可在轴上加一个硬度较高的且与轴静密封的轴套。另外，还可以采用独立的密封盒结构，使密封件的拆装和更换更加简捷方便。还有的罗茨泵把电动机密闭在泵体一端的壳体内，从而有效地解决了动密封问题，提高了泵的真空度，降低了驱动功率。但为防止电机绕组线圈在真空下起弧，电动机的电源电压应降至 50V 以下。该结构用于中、小型泵。
二、端盖壳体与泵腔之间的轴密封
由于齿轮箱或端盖壳体内均有预抽管道与泵的出口相通，即这部分的压力与前级泵入口压力基本相同，与泵腔之间的压差较小，所以一般可采用迷宫式密封、反螺旋式密封或活塞胀圈密封。
三、真空泵体端面的静密封
有的采用有机硅室温硫化橡胶膜密封，密封面不用加工密封槽，但因该硫化橡胶密封膜为一次性使用，且配制较麻烦，给现场维护带来不便，且密封膜的厚度对转子端面间隙有影响，在安装时要掌握好膜的厚薄均匀性。 还可采用真空橡胶圈密封，密封可靠，即保证了转子轴向间隙，又可方便地在现场拆装。如果对泵体端面的结构设计适当，密封槽的加工可以很方便。
四、真空泵的润滑方式
真空泵的润滑部位主要有三处：轴封处── 一般用油杯润滑；齿轮和轴承处──用齿轮或甩油盘溅油来保证润滑。对于大泵也可采用油泵强制供油润滑方式。