真空泵的真空镀膜技术

真空镀膜技术是真空泵应用技术的一个重要分支，它已普遍地应用于光学、电子学、能源开发，理化仪器、建筑机械、包装、民用制品、外表科学以及科学研讨等范畴中。真空镀膜所采用的办法主要有蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流堆积镀以及分子束外延等。此外还有化学气相堆积法。假如从真空镀膜的目的是为了改动物质外表的物理、化学性能的话，这一技术又是真空外表处置技术中的重要组成局部。

现就其几个主要应用方面做一简单引见。首先在光学方面，一块光学玻璃或石英外表上镀一层或几层不同物质的薄膜后，即可成为高反射或无反射（即增透膜）或者作任何预期比例的反射或透射资料，也能够作成对某种波长的吸收，而对另一种波长的透射的滤色片。

高反射膜从大口径的天文望远镜和各种激光器开端、不断到新型建筑物的大窗镀膜茉莉，都很需求。增透膜则大量用于照相和各种激光器开端、不断到新型建筑物的大窗镀膜玻璃，都很需求。增透膜则大量用于照相机和电视摄象机的镜头上。在电子学方面真空镀膜更占有极为重要的位置。各种范围的继承电路。包括存贮器、运算器、通知逻辑元件等都要采用导电膜、绝缘膜和维护膜。作为制备电路的掩膜则用到铬膜。